供应英国Thermco公司LPCVD，扩散炉，氧化炉，退火炉，合金化炉

英国Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上着名的卧式扩散炉、氧化炉及LPCVD炉的制造商，在**各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用，迄今为止安装记录已**过20000管。

根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；

可处理4"~10"的基片，每管处理能力分别可达25片、50片或100片；

根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。 

产品的典型应用： 

· 氮化硅（Si3N4: Silicon Nitride) 

· 多晶硅 (Ramped temperature poly) 

· 多晶硅 Uniform grain poly ( flat temp) 

· TEOS（正硅酸乙脂） 

· VLTO 

· BPSG（硼磷硅玻璃） 

· 高温氧化层 (with or without external torch) 

· 掺杂扩散 （3-4路液相掺杂管路 ( POCL3 or BBR3)） 

· 5-6路或Hcl气路 

· 两路混合气体退火 

· 高温热回火 

· 低温退火和处理 

· 合金化